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微波等离子设备

    详细说明

    一、装备介绍


      微波等离子体设备是在常压或低真空情况下,通过微波等离子发生器对反应腔内工艺气体,施加微波电磁能量,使气体产生等离子体,对气体进行热解和高度电离,同时特殊气体经过等离子电离后,利用等离子的特性,作用于产品表面,提高表面活性,增加附着性能的目的。微波等离子体设备操作简单、安全可靠、自动化程度较高。


    二、特点


    1、一定条件下,能使尾气高度电离和离解,设备安全可靠;

    2、等离子设备气压范围内较宽,可获得气体的等离子化;

    3、无内部电极,消除气体污染和电极腐蚀;

    4、气体微波等离子体化产生不带高压,微波辐射易防护;

    5、设备自动点火,操作简单、安全可靠;

    6、气体参数变化范围较大,为广泛应用提供可能性。


    三、应用


    1、微波等离子火炬技术,应用于工业尾气的处理,及材料高温烧结;

    2、微波等离子体化学气相沉积(MPECVD):制备单晶、多晶金刚石,制备SiC、宝石、切削刀具等;


    四、技术参数



    WPT3S

    WPT15S

    WPT25L

    输入电源

    三相380V±5% 50HZ

    三相380V±5% 50HZ

    三相380V±5% 50HZ

    额定功率

    5kVA

    23kVA

    32kVA

    微波功率

    3kW

    15kW

    25kW

    微波频率

    2450MHz

    2450MHz

    915MHz

    外形尺寸(m)

    0.8×0.9×1.1

    1×1.2×1.5

    2×1×1.5

    微波输出功率

    1kW~3kW

    2kW~15kW

    3kW~25kW

    反射功率

    ≤0.2kW

    ≤0.2kW

    ≤0.2kW

    火炬长度

    ≥200mm

    ≥200mm

    ≥200mm

    外焰温度

    ≥800℃

    ≥800℃

    ≥800℃

    气体压力

    0.3MPa~0.7MPa

    0.3MPa~0.7MPa

    0.3MPa~0.7MPa

    气体流量

    5L/min~100L/min

    5L/min~100L/min

    5L/min~100L/min

    微波泄露

    ≤5mw/cm2


    五、设备图片




    微波等离子设备



    等离子火炬